同一张样盘“DVDR－l”，仍然在半径为42mm处，我们用ETA RT v1.82光学检测仪对其进行测量，并且用该设备中的软件模块ETA Groove v1.81对数据进行处理。同样的，反射谱和透射谱被用作对衍射损失的光谱拟合的输入，而这种衍射损失是由可录盘片表面的预刻槽造成的。如图7所示，所有波长位于380nm到1040nm之间的零级次衍射光的反射谱（R）和透射谱（T）都在图中有所显示。测量预刻槽的两个标准参数的结果为，精深为163.3nm，宽度为301nm。预刻槽宽度依然是由测得的顶部宽度和底部宽度计算得到的。和图3中CD－R实例的光谱相比，图7中的光谱具有三个新的特征。

1．在波长为760nm处，反射光谱出现最大峰值；

2．同在波长为760nm处，透射光谱出现一个台阶；

3．在波长为580nm处，透射光谱的斜率存在突变。

光谱中的这些特征必须通过DVDR预刻槽的模型来进行描述，这在理论和计算方面都带来了很大的困难。从上述结构以及复杂的R／T光谱总体形状中可以得出的一个重要结论是，通过一个简单的衍射级次测量方法来对槽深和槽宽进行检测（像CD－R那样）是不可能的。

如果预刻槽的任意一个参数发生了变化，所有上述三个特征以及光谱曲线的整体形状都会发生改变。如果预刻槽的深度增加，衍射损失会增加而透射会减弱。但是这种变化的规律比CD－R的情况要更复杂。在CD－R的情况下，1600nm的道间距（如图 3所示）使得我们能够建立一个简单而明确的物理模型。但对DVDR而言，740nm的道间距比CD－R情况下要小得多，因此会导致异常衍射。例如，波长为740nm的激光（入射角度为0）将沿着DVDR盘片表面被衍射，即使是1级衍射光束也可能出现这种情况。因此，采用光学方法以量化的方式检测DVDR预刻槽的参数，要求进行多波长的模拟。

同样，我们依然从盘片半径25mm到半径56mm处进行了径向扫描门（如图8所示）。在扫描的范围中，两个参数的平均值分别为预刻槽深度：163.2nm，宽度290nm。扫描得到的槽深的数值的变化范围在 161.1nm到163.2nm之间，槽宽的值在265nm到 314nm之间变化。

图7 采用ETA－Groove对样盘DVDR-l从半径42mm位置处测得数据：深度163nm，宽度301nm

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图8 采用ETA－Groove对样盘DVDR-l从半径25mm到56mm的扫描测试结果

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和CDR－3情况不同的是，从内圈到外圈沟槽顶部和底部的宽度减小了约25～30nm（如图8所示）。这还是和AFM检测方法相一致的（图9：半径22mm；图10：半径58mm）。在AFM的测量结果中同样可以看到，从内圈到外圈宽度也是在逐渐减小（顶部宽度：414／406nm，对应半径=22／58mm；底部宽度：203／184nm，对应半径22／58mm）。?

图9? AFM检测方法在样盘DVDR－1半径22mm处：顶部宽度414nm，底部宽度203nm

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图10? AFM检测方法在样盘DVDR－l半径58mm处：顶部宽度406nm，底部宽度184nm

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本文主要介绍了对CD－R和DVDR盘片预刻槽几何形貌的测试方法，并通过实验进行了验证。实验结果表明，采用合适的光学方法完全可以对CD－R和DVDR盘片预刻槽几何形貌进行详细的测试，其测量精度非常接近AFM检测的精度，但是测试速度则远高于AFM检测方法。在生产实际中，可以根据生产工艺的实际情况，选择合适的检测方法，建立相应的检测指标，从而对生产进行更好的指导